納米顆粒粒徑檢測是指在三維空間中至少有一維處于納米尺寸(1-100nm)或由它們作為基本單元構(gòu)成的材料。由于它的尺寸很小，會(huì)產(chǎn)生很多特殊的效應(yīng)，比如小尺寸效應(yīng)、隧道效應(yīng)以及大的比表面積效應(yīng)等，因此使得納米材料表現(xiàn)出不同的物理化學(xué)特性，例如熔點(diǎn)、磁性、光學(xué)、導(dǎo)熱、導(dǎo)電特性等等，因而現(xiàn)在納米材料被廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、化工、冶金、電子、機(jī)械、輕工、建筑及環(huán)保等行業(yè)。

 

　　為了實(shí)現(xiàn)掃描電子顯微鏡（SEM）對(duì)納米顆粒粒徑檢測的準(zhǔn)確測量，研究了一種SEM放大倍數(shù)校準(zhǔn)和光柵間距測量的方法；在SEM的不同放大倍數(shù)下對(duì)光柵納米結(jié)構(gòu)樣板成像，運(yùn)用軟件對(duì)顯微鏡圖像進(jìn)行灰度處理并讀取灰度圖像的亮度值數(shù)據(jù)，通過確定頂線、基線、底線位置，有效消除成像質(zhì)量及數(shù)據(jù)處理等的誤差，準(zhǔn)確確定質(zhì)心橫坐標(biāo)，采用質(zhì)心算法求取平均光柵間距，通過與光柵間距標(biāo)稱值比較計(jì)算校準(zhǔn)系數(shù)和校準(zhǔn)誤差；為驗(yàn)證放大倍率校準(zhǔn)結(jié)果的可靠性，對(duì)納米顆粒粒度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)進(jìn)行測量。實(shí)際測量的平均粒徑與標(biāo)準(zhǔn)值一致，表明該校準(zhǔn)方法準(zhǔn)確可靠，可有效避免圖像質(zhì)量和人為因素對(duì)測量結(jié)果的影響，達(dá)到對(duì)納米和亞微米顆粒粒徑準(zhǔn)確測量的目的。